Unas puntualizaciones, intentando no repetir lo que han dicho otros compañeros en el foro. Lo más probable es que tu placa admita micros Pentium III de 100 y 133 MHz de bus, pero no admita los últimos procesadores que se fabricaron, nombre clave "Tualatin" y encapsulado FCPGA2 (nótese la diferencia) con disipador integrado (IHS).
Lo ideal sería que pusieses la marca y el modelo de tu placa, o si lo sabes, mejor el chipset que ésta lleva incorporado. Un programa que te puede decir todo eso es el EVEREST (antiguo AIDA32) que te analiza el equipo exhaustivamente. Así te podremos confirmar el mejor micro que puedes meter.
De antemano te digo que el mejor micro es un Pentium III a 1333 MHz, pero se hicieron tan pocos que eran carísimos y es imposible de encontrarlos, menos en España. Una solución muy muy interesante es poner un Celerón Tualatin a 1400 MHz (14x100) por 30 euros, pero es probable que la placa no te lo admita porque es FCPGA2.
Si quieres poner un Pentium III a 1000 MHz, deberías deshacerte del módulo de 64 MB porque va a 100 MHz, y tal vez comprarte otros 128 ó 256 MB de PC-133 ... eso ya depende de cuánto quieras gastarte para trabajar con un equipo algo anticuado.
Suerte.