Grabar en un 12c509a un hex del hexgen3

Buenas, mi problema es que no consigo grabar el pic 12c509a con el Ic-prog.
Quiero grabar un hex generado por el hexgen3 (le pongo abrir archivos, y elijo el supergen3.hex) pero una vez ha terminado de grabarlo siempre me da "error 000h".
Por lo demas coloco el pic en el zocalo de 18 patillas de un t-20, con la muesca bien orientada.

Muchas gracias.